Жигальский А.А. Технология материалов электронной техники

Учебное пособие. — Томск: ТУСУР — 143 с.Данное учебное пособие предназначено для самостоятельного изучения курса Технология материалов электронной техники студентами специальностей, связанных с технологией и проектированием приборов и устройств твердотельной электроники. Учебное пособие разработано на основе учебника для студентов вузов Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов. — М.: Высшая школа, 1983 г. и содержит основные разделы изучаемого курса. Методики расчетов важнейших технологических процессов, использованные в пособии основаны на Расчетах процессов полупроводниковой технологии. Соколов И.А.: Учебное пособие для вузов. – М.: Металлургия, 1994. — 176 с. При разработке учебного пособия ставилась задача доступного изложения, предназначенного для самостоятельного изучения курса.Введение.
Основы тепломассопередачи и химических процессов в технологии МЭТ.
Тепловые процессы.
Процессы массопередачи.
Химические процессы.
Основы процессов переработки, разделения и очистки сырьевых материалов.
Процессы измельчения и рассеивания твердых тел.
Общая характеристика чистоты вещества.
Общая характеристика процессов разделения и очистки.
Сорбционные процессы.
Процессы жидкостной экстракции.
Кристаллизационные процессы.
Процессы перегонки через газовую фазу.
Очистка веществ с помощью химических транспортных реакций.
Другие процессы разделения и очистки веществ.
Физико-химические основы процессов затвердевания и получения монокристаллов.
Образование кристаллических зародышей и стеклование.
Механизм и кинетика роста кристаллов.
Получение кристаллов из твердой фазы.
Получение кристаллов из расплавов.
Получение кристаллов из газовой фазы.
Эпитаксиальные процессы.
Получение профильных монокристаллов.
Физико-химические основы легирования монокристаллов.
Распределение примесей в выращиваемых кристаллах.
Методы получения однородно легированных кристаллов.
основы технологии получения стекла и стеклокристаллических материалов.
Строение и свойства стекол.
Получение ситаллов.
Основы технологии керамических материалов.
Литература.