Сазонов А.А. Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники

Учебное пособие для студентов приборостроительных специальностей — М.: Высш. шк., 1991. — 334 с.: ил. — ISBN: 5-06-000731-6.В книге рассматриваются вопросы разработки систем управления основными технологическими процессами интегральных микросхем, в том числе вопросы моделирования и идентификации технологического оборудования, разработки информационно-измерительных систем, управляющих и исполнительных устройств, а также систем, управления некоторых конкретных технологических процессов и технологического микроклимата.Состоит из 9 глав:
Автоматизация производства в микроэлектронике;
Моделирование и идентификация элементов и систем технологического оборудования;
Информационно-измерительные системы;
Управляющие устройства;
Системы управления перемещениями и электропривод;
Системы управления тепловыми процессами;
Системы управления потоками парогазовых смесей;
Системы управления плазмохимическими процессами;
Средства контроля и управления технологическим микроклиматом.