Левицкий А.А., Маринушкин П.С. Проектирование микросистем. Программные средства обеспечения САПР

Учебное пособие. — Красноярск: Сибирский федеральный университет, 2010. — 156 с.: ил. — ISBN: 978-5-7638-2111-6.В учебном пособии рассматриваются вопросы применения программных средств, используемых при проектировании устройств микросистемной техники. Приводятся сведения о специализированных системах проектирования, об универсальных CAE- и других пакетах программ, обеспечивающих решение задач моделирования и разработки элементов микросистемной техники.Рекомендовано студентам направлений подготовки бакалавров и магистров 210100 «Электроника и микроэлектроника» и 210200 «Проектирование и технология электронных средств» (ГОС ВПО 2); 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств»(ФГОС ВПО).ВведениеОписание моделей элементов микросистемной техники
Элементы микросистемной техники как объекты моделирования
Численное моделирование
Моделирование с помощью схем замещения
Поведенческие модели элементов микросистемной техники
Заключение
Контрольные вопросы и заданияУниверсальные CAE-системы
Ansys
COMSOL Multiphysics
ALGOR
COSMOSWorks
MatLAB \ SUGAR
Сравнительная характеристика CAE-пакетов
Заключение
Контрольные вопросы и заданияПрограммное обеспечение MEMS Pro
Общие сведения
Разработка электрической схемы устройства
Разработка топологического чертежа
Разработка технологического процесса
Создание трехмерной твердотельной модели
Заключение
Контрольные вопросы и заданияПакет CoventorWare
Общие сведения
Главное диалоговое окно Function Manager
Разработка технологического процесса
Проектирование устройства на системном уровне
Разработка трехмерной модели устройства
Выполнение анализа в модуле Analyzer
Сравнительная характеристика MEMS Pro и CoventorWare
Заключение
Контрольные вопросы и заданияПакет IntelliSuite
Концепция проектирования в пакете IntelliSuite
Основные компоненты пакета IntelliSuite
Разработка схемы. Модуль Synple
Разработка топологии. Модуль Blueprint
Разработка технологического процесса
Физическое моделирование
Экстракция и верификация моделей
Связь IntelliSuite с EDA инструментами
Заключение
Контрольные вопросы и заданияЗаключение
Список основных терминов и сокращений
Библиографический список