Воронов Ю.А., Касков С.Ю., Мочалкина О.Р. Моделирование технологии и параметров кремниевых наноразмерных транзисторных структур

М.: НИЯУ МИФИ, 2012. — 80 с.Составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплине «Наноэлектронная технология». Изложены основные темы учебного материала, входящего в лекционный курс. А именно: рассмотрены вопросы математического моделирования процессов ионного внедрения примесей в кремний с использованием как «ручного» так и программного моделирования с помощью универсальной программы технологического моделирования T-CAD фирмы Synopsys. Представлены основные принципы работы с программой, включая списки команд, обеспечивающих моделирование технологии, электрофизических и электрических характеристик классического МДП-транзистора. Рассмотрены результаты моделирования наноразмерных МДП-транзисторов. Методика изложения материала позволяет студентам узнать теоретические вопросы и практически освоить основы программы T-CAD. Это первое учебное пособие по программе T-CAD на русском языке. Предназначено для студентов направлений подготовки по электронике.Предисловие.
Моделирование процессов ионного внедрения на основе теории Линдхарда – Шарфа – Шиотта.
Особенности электронно-дырочных переходов цилиндрической формы.
Расчёт пробегов ионов для низких энергий внедрения.
Распределение имплантированной примеси с использованием приближения Пирсона.
Введение в систему сквозного моделирования Synopsys T-CAD.
Структура и применение основных инструментов системы Synopsys T-CAD.
Моделирование МОП-транзистора.
Организация проекта.
Работа с модулем Sentaurus Process.
Работа с модулем Sentaurus Device.
Работа с модулем Inspect.
Вывод значений переменных.
Запуск проекта.
Графическое представление результатов моделирования.
Моделирование наноразмерных транзисторных МОП-ИС на основе использования САПР Synopsys T-CAD.
Модифицированные МОП-транзисторы с наноразмерными структурными элементами.
Моделирование масок в спейсерной технологии.
Моделирование модифицированной структуры МОП-транзистора.
Список использованной литературы.
Приложение. Командный файл модуля Sentaurus Process. Содержимое файла sprocess_fps.cmd.
Приложение. Командный файл модуля Sdevice. Содержимое файла sdevice.cmd.
Приложение. Командный файл модуля Inspect. Содержимое файла ins.cmd.