Обухов В.И., Бабицкая Э.М., Гойденко П.П., Буйко Л.Д. Квантовые генераторы в системах контроля полупроводников

Под ред. Обухова В.И. — Минск: Наука и техника, 1972. — 120 с.В книге рассматривются методы и принципы формирования автоматических систем контроля с использованием квантовых генераторов для таких параметров полупроводников, как толщина эпитаксиальной пленки, удельное сопротивление, а также параметров, характеризирующих состояние поверхности. Освещаются особености взаимосвязи электромагнитного излучения квантового генератора с полупроводником (отражение, поглощение, преломление), методов и принципов, положенных в основу контроля (интерференции, голографии и т.д.). Дан анализ квантового генератора как элемента систем автоматики.Параметры контроля полупроводников и диэлектриков в технологическом процессе производства приборов.
Оптические методы контроля полупроводников и диэлектриков.
Квантовый элемент в системах автоматики.
Элементы оптоэлектроники в системах контроля.
Некоторые системы контроля полупроводниковых структур.