Демин В.В., Гореликов Н.И., Готра З.Ю. Пленочные микросхемы и миниатюризация

Львов: Каменяр, 1972. — 88 с.В книге рассматриваются наиболее распространенные методы создания тонко- и толстопленочных интегральных схем и миниатюризация радиоэлектронной аппаратуры на современном этапе развития науки и техники.
Рассчитана на инженеров и рабочих радиоэлектронной промышленности, а также радиолюбителей.Вступление.
Методы и средства миниатюризации.
Основные методы создания пленочных микросхем.
Миниатюризация и измерительные устройства.
Тенденции миниатюризации.
Литература.