Реферативный обзор. — М.: ОНТИ, 1987. — 31 с.
Карбид кремния - материал, обладающий широким комплексом полезных свойств: электротехнических, антикоррозионных, прочностных. Описаны методы выращивания кристаллов карбида кремния различными способами. Приведена характеристика оборудования для выращивания кристаллов карбида кремния, эпитаксиальное наращивание кубического карбида кремния и приборов на основе карбида кремния. Для специалистов, инженеров-технологов, преподавателей, аспирантов и студентов.
Введение
Выращивание кристаллов карбида кремния
Выращивание кристаллов карбида кремния из растворов-расплавов
Получение кристаллов карбида кремния методом движущегося растворителя
Выращивание кристаллов карбида кремния из пара методом Бриджмена-Стокбаргера
Выращивание кристаллов карбида кремния кубической модификации
Оборудование для выращивания монокристаллов карбида кремния
Эпитаксиальное наращивание кубического карбида кремния
Приборы на основе карбида кремния
Спецтехнологическая оснастка из карбида кремния
Заключение
Литература