Попов А.Н. Вакуумная техника

Минск : Новое знание ; М. : Инфра-М, 2012. — 167 с. : ил. — (Высшее образование). — ISBN: 978-985-475-500-7 (Новое знание).
Рассмотрены основные физико-химические процессы, протекающие в вакууме. Описаны методы измерения низких давлений, принципы действия вакуумных насосов и основные типы вакуумных систем. Лабораторные работы охватывают основные темы курса «Вакуумная техника».
Для студентов механических, технологических, физических и других факультетов вузов. Может быть полезно аспирантам, преподавателям и инженерно-техническим специалистам, работа которых связана с вакуумной техникой.