Учебное пособие. – СПб.: Университет ИТМО, 2019. – 94 с.
Цель пособия – ознакомить студентов с теоретическими основами и методами оптических измерений как с позиций оптика-конструктора и исследователя, так и с общеметрологических позиций, связанных с задачами и спецификой классических и современных оптических измерений в современных условиях производства и научно-технических исследований.
Рассмотрены анализ и синтез схемных решений аппаратуры для измерения деформаций волнового фронта, связанных с аберрациями оптических систем и ошибками оптических поверхностей, а также современные косвенные методы оценки качества изображения оптических систем путем компьютерной расшифровки интерферограмм.
Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлениям подготовки бакалавров 12.03.02 «Оптотехника» и 16.03.01 «Техническая физика» в рамках дисциплины «Оптические измерения» и направлению подготовки магистрантов 12.04.02 «Оптотехника» в рамках дисциплины «Методы исследования и контроля качества оптических систем», а также может быть полезным для инженерно-технических работников исследовательских лабораторий и для технологов оптического производства.
Содержание
Введение
Об истории методов исследования аберраций оптических систем и ошибок оптических поверхностейТеневой метод Фуко
Метод Гартмана
Интерферометрия
Интерферометр Тваймана
Интерферометр ФизоКонтроль плоской поверхности
Контроль сферической поверхности
Методика проведения измерений
Оптический измерительный комплекс на базе лазерного дифракционного интерферометра
Интерферометры с дифракцией на точечном отверстии для контроля ошибок формы прецизионных поверхностейДифракционный интерферометр Линника
Неравноплечий дифракционный интерферометр
Влияние формы и структуры дифрагированного волнового фронта
Функции преобразования в интерферометрииАнализ погрешностей метода интерферометрии
Высокоточная обработка и интерпретация сложных интерферограмм
Конструктивное решение интерферомера с дифрагированным опорным волновым фронтом
Унифицированный интерферометр для контроля точной астрооптикиНазначение
Устройство и работа интерферометра. Принцип действия и оптическая система
Порядок установки и подготовка к работе
Методика метрологической аттестации интерферометра ПК-881
Методы обработки и интерпретации интерферограммКомпьютерные методы
Основные возможности программы
Основные правила работы с программой
Программа Zebra Imager
Интерферометр с голографической рассеивающей пластинкойПринцип работы прибора
Снижение погрешностей расшифровки интерферограмм средствами прикладной фоторегистрации
Снижение погрешностей расшифровки гартманограмм
Расширение возможностей метода Гартмана при использовании лазера
Интерферометр с решеткой РонкиПринцип метода
Характеристики установки для исследования объектива микроскопа
Проведение исследований
Методика проведения измерения
Снижение влияния вибраций при интерферометрииЗаключение
Литература