Разработка топологии и технологии изготовления бескорпусной тонкопленочной микросборки

Северо-Западный государственный заочный технический университет, 2007.
Кафедра промышленной электроники.
Научный руководитель: Васильев Ю.Г.Задание на курсовую работу.
Схемотехнические данные и используемые материалы.
Схема микросборки, электрические и эксплуатационные данные.
Материалы, используемые для разработки микросборки.
Технологические требования и ограничения.
Разработка коммутационной схемы соединений.
Расчет тонкопленочных элементов микросборки.
Расчет тонкопленочных резисторов.
Расчет пленочных конденсаторов.
Расчет пленочных проводников и контактных площадок ИМС.
Разработка топологии ИМС.
Разработка технологии изготовления микросборки.
Заключение.
Список литературы.
Приложение.
В приложении файл Excel с расчетами для выполнения чертежей и файл Visio с самими чертежами (15 листов: промежуточные и слои ИМС в масштабе 20:1 в мкм).