Бублик В.Т., Щербачев К.Д., Воронова М.И. Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур: рентгеновская рефлектометрия

Учебное пособие. — М.: Изд. Дом МИСиС, 2016. — 84 с. — ISBN: 978-5-87623-982-2.Кратко изложены теоретические основы метода рентгеновской рефлектометрии. Содержание пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники». Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует.
Предназначено для магистров, обучающихся по направлению 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники».