Карбань В.И., Борзаков Ю.И. Обработка монокристаллов в микроэлектронике

Москва: Радио и связь, 1988. — 104 с.Изложены особенности обработки монокристаллов, имеющих наиболее широкое применение в микроэлектронике. Приведены основные процессы, инструменты и оборудование. С учетом последних научных данных рассмотрены общие закономерности взаимодействия монокристалла с абразивом, особенности микроразрушения и микропластической деформации поверхностных слоев. Представлены исследования обрабатываемости монокристаллов, анизотропии свойств и ее использование в процессах обработки.
Для инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и производством изделий микроэлектроники.