Евсеев В.А. Физическая химия материалов электронной техники. Термодинамика легированных полупроводников

Учебное пособие. — Москва: МИСИС, 1989. — 143 с.Введение.
Основные особенности поведения примеси в легированном полупроводнике.
Критерии выбора легирующего компонента.
Природа взаимодействия компонентов легированного кристалла с позиций химической термодинамики.
Термодинамический анализ растворимости легирующих элементов в полупроводниковой матрице.
Термодинамика распада полупроводниковых твёрдых растворов.
Литература.