Соколов И.А. Расчеты процессов полупроводниковой технологии

Москва: Металлургия, 1994. — 176 с.Книга содержит 14 задач по всем важнейшим процессам современной полупроводниковой технологии и является первым отечественным пособием такого типа. Каждая задача состоит из теоретической части, где в сжатом виде описаны основные закономерности процесса, пример решения, справочные данные и несколько вариантов расчетов.
Справочный материал по термодинамическим константам и свойствам полупроводниковых соединений при различных температурах составлен по литературным данным, обработанным авторами учебного пособия на ЭВМ. Он представляет самостоятельный интерес для инженеров и специалистов, занимающихся разработкой процессов выращивания объемных полупроводниковых кристаллов и пленочных структур.
Для студентов вузов, обучающихся по специальности "Физика и технология материалов и компонентов электронной техники".От себя, по ней обучавшегося: Книга содержит огромное количество опечаток и недостаток первичных данных. Большинство расчетов затруднено или невозможно без привлечения дополнительной литературы. Рекомендуется только для преподавателей с целью подготовки практических занятий.