Медведев С.А. Введение в технологию полупроводниковых материалов

Москва: Высшая школа, 1970. — 504 с.Книга состоит из трех частей. В первой части кратко излагаются понятия кристаллографии и физической химии; во второй рассмотрены элементы теории зарождения и роста кристаллов, методы выращивания монокристаллов, проблема эпитаксиальных пленок; в третьей описываются технология изготовления и свойства наиболее изученных полупроводников: германия, кремния, карбида кремния и др.