Нашельский А.Я. Технология материалов электронной техники. Раздел: Расчеты процессов получения объемных монокристаллов полупроводников

Учебное пособие для практических занятий. — М.: МИСиС, 1998. — 63 с.Содержит описания 14 задач по основным процессам технологии получения объемных монокристаллов полупроводников. Каждая задача предваряется перечнем уравнений, необходимых для ее решения, примером решения подобной задачи и заданием, содержащим 20 вариантов. Для студентов специализации 200.102.Пересчет содержания в концентрацию.
Расчеты процессов получения поликристаллических полупроводников.
Расчеты процессов легирования.
Определение основных параметров кристаллизационного процесса.
Расчет распределения примеси по длине выращенного кристалла.
Расчеты процессов выращивания равномерно легированных по длине монокристаллов.
Рекомендуемая литература.Все выпуски:
/file/3493071/
/file/3493069/