Учебное пособие. — М.: МИСиС, 1970. — 96 с.
Изложен курс лекций, прочитанный автором на факультете Полупроводниковых материалов и приборов МИСиС. Состоит из трех частей. В первых двух частях приведены методы измерения электрофизических параметров полупроводниковых материалов, характеризующих процессы, обусловленные равновесной концентрацией носителей заряда
n = n(T). Рассмотрены наиболее распространенные в практике методы и измерений удельного сопротивления, коэффициентов Холла и магнитосопротивления (часть I); коэффициентов термо-э.д.с., Пельтье, Томсона, теплопроводности и контактной разности потенциалов (часть II). В третьей части приведены методы измерения некоторых параметров, характеризующих неравновесные процессы в полупроводниках диффузионной длины, времени жизни, дрейфовой подвижности неосновных носителей заряда и скорости поверхностной рекомбинации. Физика явлений и процессов, происходящих в полупроводниках рассмотрена в той степени, которая может быть полезна для вопросов метрики полупроводниковых материалов. Изложена теория отдельных методов измерения электрофизических параметров, приведены схемы экспериментальных установок, расчет ошибок и экспериментальные результаты для некоторых полупроводников. Книга предназначена для студентов специальности "Полупроводники и диэлектрики", однако она может быть полезной для студентов других специальностей, а также для преподавателей и инженеров-исследователей, работающих в области полупроводниковой электроники.
Измерение коэффициентов термо-э.д.с., Пельтье и Томсона.Термоэлектрические явления в полупроводниках.
Термодинамические соотношения Томсона.
Зависимость коэффициента термо-э.д.с. от концентрации носителей заряда.
Зависимость коэффициента термо-э.д.с. от температуры.
Методы измерения коэффициента термо-э.д.с.
Измерение электрической однородности полупроводников с помощью зондового метода измерения коэффициента термо-э.д.с.
Определение типа проводимости. Метод термозонда.
Определение соотношения подвижностей из измерений коэффициента термо-э.д.с.
Вычисление значений эффективных масс из измерений коэффициента термо-э.д.с.
Измерение коэффициентов Пельтье и Томсона.
Экспериментальные результаты.
Литература.
Измерение коэффициента теплопроводности.Электронная и решеточная составляющие коэффициента теплопроводности.
Методы измерения коэффициента теплопроводности.
Литература.
Измерение контактной разности потенциалов.Контактные явления в полупроводниках.
Методы измерения контактной разности потенциалов.
Экспериментальные результаты.
Литература.