Учебное пособие. — М.: МИСиС, 2004. — 103 с.
Содержит описание семи лабораторных работ по курсу "Технология материалов электронной техники". Лабораторные работы посвящены исследованию физико-химических свойств материалов, кинетических характеристик процессов водородного восстановления, ионного обмена, очистки, ректификации и зонной перекристаллизации. По ряду процессов составляются математические модели, которые идентифицируются по экспериментальным данным. Соответствует государственному образовательному стандарту дисциплины "Технология материалов электронной техники". Предназначен для студентов третьего и четвертого курсов факультетов ПМП, обучающихся по специальностям 200100, 07100, 550700.
Введение.
Исследование кинетики процесса ионного обмена.
Получение воды высокой степени чистоты.
Исследование процесса ректификации с моделированием на ЭВМ.
Водородное восстановление кремния из его хлороводородных соединений.
Определение эффективного коэффициента распределения примеси при зонной перекристаллизации.
Оптимизация параметров процесса очистки материала методом много проходной зонной перекристаллизации.
Исследование процесса испарения веществ в вакууме.