Коротков А.С. (ред.) Материалы электронной техники. Экспериментальные методы исследования. Лабораторный практикум

В.М. Капралова, Ю.И. Поликарпов, В.И. Прошин и др. — Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. — Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2011. — 176 с.Лабораторный практикум направлен на формирование у студентов навыков работы на современном измерительном оборудовании, используемом для контроля характеристик и параметров нано- и микроразмерных структур и материалов интегральной электроники. В него включены 11 лабораторных работ, знакомящих студентов с основными методами исследования диэлектрических, оптических и теплофизических характеристик материалов, широко используемых в приборах и устройствах твердотельной электроники. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению бакалавриата «Техническая физика» с профилем подготовки «Физическая электроника». Также может быть использовано студентами, обучающимися по направлению бакалавриата «Интегральная электроника и наноэлектроника», в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования.