Новиков В.В. Теоретические основы микроэлектроники

Москва: Высшая школа, 1972. — 352 с.Книга является учебным пособием по курсу «Физические основы микроэлектроники». В ней рассмотрены основные закономерности строения и роста кристаллов и тонких пленок. Изложены основы электронной теории твердого тела, а также описаны наиболее важные физические явления и эффекты в твердом теле, которыележат в основе принципа действия микроэлектронных элементов и схем. Рассмотрены электронные процессы в тонких металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленках и возможные принципы работы пленочных активных элементов и интегральных пленочных схем на их основе.