Дорфман В.Ф. Газофазная микрометаллургия полупроводников

М.: Металлургия, 1974. — 192 с.Анализируется современное состояние представлении о механизме кристаллизации полупроводников из газовой фазы.
Рассматриваются термодинамические и кинетические условия процессов переноса в системах газофазной микрометаллургин, а также возможность применения газофазной микрометаллургии для физико-химических .исследований (получение трудных соединении и метастабильных фаз, изучение диаграмм фазового равновесия и механизма гетерогенных процессов). Особое внимание уделено механизму роста как узловой проблеме в данной области.
Специальная глава посвящена процессам газофазной микрометаллургии в технологии твердого тела.
Книга предназначена для инженеров и научных работников, специализирующихся в области газофазной микрометаллургии; может быть также полезна студентам соответствующей специальности.