Кульментьев А.И., Кульментьева О.П. Методы анализа поверхности твердых тел

Сумы: СумГУ, 2008. — 158 с.Пособие содержит материалы лекций по дисциплине "Приборы и методы анализа твердых тел". Изложены фундаментальные вопросы об атомной структуре, особенностях электронной подсистемы и композиционном составе поверхностей твердых тел. Описаны физическая и химическая адсорбция. Показана взаимосвязь между электронными, атомными и молекулярными процессами, происходящими на поверхности твердого тела и в адсорбционной фазе. Приведена классификация существующих методов анализа и рассмотрена электронная оже-спектроскопия, имеющая высокую поверхностную чувствительность. Показано, как этот метод вместе с ионным распылением можно использовать для профилирования по глубине. Для студентов высших учебных заведения, обучающихся по специальностям направления "Электронные приборы и системы".