Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Бериш Р. (ред.) Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып. 1. Физическое распыление одноэлементных твердых тел. (Проблемы прикладной физики)

  • Файл формата djvu
  • размером 4,83 МБ
  • Добавлен пользователем
  • Описание отредактировано
Бериш Р. (ред.) Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып. 1. Физическое распыление одноэлементных твердых тел. (Проблемы прикладной физики)
М. Мир. 1984. 336 с.
В книге, написанной крупнейшими специалистами по радиационной физике твердого тела, рассмотрены современные теории взаимодействия легких и тяжелых ионов с моно- и поликристаллическими твердыми телами, методы моделирования радиационных эффектов в твердых телах с помощью ЭВМ, систематизирован обширный материал, полученный при распылении твердых тел ионной бомбардировкой. Книга является итогом самых последних исследований в данной области, многие результаты публиковались ранее лишь в виде отчетов.
Для научных работников и инженеров, работающих в области физики твердого тела, микроэлектроники, плазменной технологии, плазменных энергетических установок, а также для студентов и аспирантов вузов соответствующих специальностей.
Содержание
Предисловие редактора перевода
Предисловие
Введение и общий обзор
Распыление ионной бомбардировкой, общие теоретические представления
Теоретические вопросы распыления монокристаллов
Измерения коэффициента распыления
Коэффициенты распыления монокристаллических мишеней
Дополнительная литература
Список обозначений
Предметный указатель
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация