Бериш Р. (ред.) Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып. 2. Распыление сплавов, соединений, распыление под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности. (Проблемы прикладной физики)

М. Мир. 1986. 488 с.Во втором выпуске книги, написанной крупнейшими специалистами мира по радиационной физике твердого тела (из ФРГ, Великобритании, Австрии. США, Дании и Югославии), рассмотрены такие важные для новой техники вопросы, как распыление многокомпонентных материалов, в том числе изменение состава их поверхностных слоев, обусловленное ионной бомбардировкой, и развитие рельефа на поверхности при ионной бомбардировке. Впервые в монографической литературе дан обзор таких нетрадиционных видов распыления, как распыление под действием электронов, фотонов и нейтронов.
Для научных работников и инженеров, работающих в области физики твердого тела, микроэлектроники, плазменной технологии, плазменных энергетических установок, а также для студентов и аспирантов вузов соответствующих специальностей.СодержаниеПредисловие редактора перевода
Предисловие
Введение и общий обзор
Распыление многокомпонентных материалов
Химическое распыление
Распыление электронами и фотонами
Распыление твердых тел нейтронной бомбардировкой
Развитие рельефа на поверхности при бомбардировке тяжелыми ионами
Развитие рельефа на поверхности вследствие имплантации ионов газов
Дополнительная литература
Дополнение. Некоторые часто употребляемые англоязычные термины и их русские эквиваленты
Предметный указатель