Шермергор Т.Д., Стрельцова Н.Н. Пленочные пьезоэлектрики

М.: Радио и связь, 1986. — 136 с.: ил.Кратко описаны физические свойства пьезоэлектрических материалов, используемых в микроэлектронике. Дан сравнительный анализ технологии получения пленок этих материалов. Рассмотрены зависимости свойств пленок от условий их получения. Приведена технология изготовления приборов на основе пьезоэлектрических пленок, их характеристики и области применения.
Для инженерно-технических работников, специализирующихся в области микроэлектроники.Предисловие.
Физические основы применения пьезоматериалов.
Пьезоэлектрический эффект.
Пьезоматериалы для акустоэлектронных устройств.
Основные характеристики пьезоэлектриков.
Объемные и поверхностные волны в твердых телах.
Распространение ПАВ в структуре пленка-подложка.
Методы получения пленок.
Термическое испарение.
Ионное распыление.
Химическое осаждение.
Свойства пленок пьезоэлектриков.
Структура пленок.
Электрофизические свойства пленок.
Акустические свойства пленок.
Оптические свойства пленок.
Механические свойства пленок.
Применение пленок пьезоэлектриков.
Технология изготовления тонкопленочных устройств.
Тонкопленочные устройства на объемных волнах.
Тонкопленочные устройства на ПАВ.
Пьезоэлектрические полимерные пленки.
Список литературы.